概述SMC2通氣控閥,SMC安裝要求
特長(zhǎng) 溫度穩(wěn)定性高、溫度調(diào)節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備。
適用各種安全標(biāo)準(zhǔn)。
CAD 設(shè)定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
特長(zhǎng) 在HRZ系列高的基礎(chǔ)上，采用了DC變頻壓縮機(jī)，實(shí)現(xiàn)了省能化。
兼?zhèn)鋸V泛的溫度調(diào)節(jié)范圍和冷卻能力范圍。
適用于更新周期短的半導(dǎo)體器件，可以靈活地響應(yīng)不斷變化的工藝條件。

概述SMC2通氣控閥,SMC安裝要求

功能簡(jiǎn)介:

氣控閥介質(zhì)流動(dòng)方向應(yīng)與閥體箭頭方向一致，可以外接導(dǎo)壓管裝置出廠前均通過(guò)壓力試驗(yàn)，安裝時(shí)嚴(yán)禁損傷導(dǎo)壓裝置;閥上的1/2管接頭應(yīng)安裝在水泵入口處;可水平安裝也可以垂直安裝;限流止回閥的需求揚(yáng)程大于0.1MPa時(shí)，先逆時(shí)針把四通開(kāi)大，然后再順時(shí)針逐漸關(guān)閉調(diào)壓閥，關(guān)閉過(guò)程中出口壓力會(huì)逐漸增大，直至出口壓力為需要揚(yáng)程時(shí)，即完成初調(diào)節(jié)，反復(fù)啟閉水泵2-3次，每次運(yùn)行3-5分鐘，出口壓力不變即完成調(diào)試工作;視水質(zhì)情況應(yīng)經(jīng)常檢查出口壓力值，當(dāng)出口壓力小于設(shè)定值時(shí)，應(yīng)開(kāi)啟過(guò)濾器排除污物。

按動(dòng)作方式分類，可分為直動(dòng)式和先導(dǎo)式。直接依靠電磁力、氣壓力、人力和機(jī)械力使閥芯換向的閥，稱為直動(dòng)式換向閥。直動(dòng)式閥的通徑較小。先導(dǎo)式氣閥由先導(dǎo)閥和主閥組成，依靠先導(dǎo)閥輸出的氣壓力，通過(guò)控制活塞等推動(dòng)主閥芯換向的那部分稱為主閥。通徑大的換向閥大都為先導(dǎo)式換向閥。先導(dǎo)閥又分成內(nèi)部先導(dǎo)式和外部先導(dǎo)式。先導(dǎo)控制的氣源是主閥提供的為內(nèi)部先導(dǎo)式；先導(dǎo)控制的氣源是外部供給的為外部先導(dǎo)式。外部先導(dǎo)式換向閥切換不受換向閥使用壓力大小的影響，故換向閥可在低壓或真空壓力條件下工作。

專門(mén)用于氣動(dòng)系統(tǒng)和氣液回路控制

●正反向流動(dòng)都可能的平衡座閥式

●氣控式、外部先導(dǎo)式電磁閥

產(chǎn)品型號(hào):

SMC CDQ2A40-100DMZ-M9BL

SMC JC40-14-150

ITV3050-04F3CL 

CM2B32-300Z 

CDJ2E16-200Z-B 

MBL50-600Z

C96SDB125-75W

C96SDB125-85W

MBB80-100Z 

CDQ2D12-10DMZ

MKB25-20RZ

MKB25-20LZ

SMC MHY2-20D

SMC CDM2B40-450AZ

SMC SY7340-5LOZ

AW30-N02-2-B-X430 過(guò)濾減壓閥

AS2052F-08  調(diào)速閥

VBA42A-04GN

V114T-5GZ